[发明专利]烧成装置无效
申请号: | 200410054673.1 | 申请日: | 2004-07-27 |
公开(公告)号: | CN1727294A | 公开(公告)日: | 2006-02-01 |
发明(设计)人: | 浦西芳和 | 申请(专利权)人: | 光洋热系统株式会社 |
主分类号: | C03B29/16 | 分类号: | C03B29/16 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 韩登营 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种烧成装置,该烧成装置可降低电力消耗、缩短装置的横向宽度尺寸、以及实现降低装置成本。本发明的烧成装置装备有:烧成炉(11);分别安装在烧成炉(11)内两侧面上的加热器(12);传送装置(13),该传送装置(13)具有2条相互隔着间隔的沿着炉纵向方向延伸的传送路线,且在该各传送路线上在与传送方向平行且竖立状态下传送基板(P);在两传送路线之间延伸的供气管(31)及排气管(32)。 | ||
搜索关键词: | 烧成 装置 | ||
【主权项】:
1.一种烧成装置,该烧成装置包括:烧成炉;加热器,该加热器分别安装在烧成炉内两侧面上;传送装置,该传送装置具有2条相互隔开间隔地沿着炉纵向延伸的传送路线,且在该各传送路线上以与传送方向平行且竖立着的状态下传送基板;供气管及排气管,该供气管及排气管在两传送路线之间延伸。
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