[发明专利]固态成像装置及其制造方法有效
| 申请号： | 200410055710.0 | 申请日： | 2004-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN1591882A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | 栗山俊宽 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01L27/14 | 分类号： | H01L27/14;H04N5/225 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 夏青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种固态成像装置，包括：以规则间隔在光接收区中设置成矩阵形式的多个光敏元件，其中光接收区设置在半导体衬底上；设置在半导体衬底上并对应多个光敏元件的多个检测电极，用于检测由每个光敏元件产生的电荷；覆盖多个检测电极并具有在每个光敏元件上的孔的光屏蔽膜；和多个反射壁，这些反射壁在光屏蔽膜上形成为格栅图形，以便独立地隔开位于各个光敏元件上的孔，用于将从上部进入半导体衬底的一部分光反射到每个光敏元件上的孔上。多个反射壁的形成使得穿过孔彼此相对的反射壁的中点从孔的中心向光接收区的中心偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 固态 成像 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种固态成像装置，包括：半导体衬底；以规则间隔在光接收区中设置成矩阵形式的多个光敏元件，其中光接收区设置在半导体衬底上；设置在半导体衬底上并对应多个光敏元件的多个检测电极，用于检测由每个光敏元件产生的电荷；光屏蔽膜，覆盖多个检测电极并具有在每个光敏元件上的孔；和多个反射壁，这些反射壁在光屏蔽膜上形成为格栅图形，以便独立地隔开位于各个光敏元件上的孔，用于将从上部进入半导体衬底的一部分光反射到每个光敏元件上的孔上，其中多个反射壁的形成使得穿过孔彼此相对的反射壁的中点从孔的中心向光接收区的中心偏移，和穿过孔彼此相对的反射壁的中点和孔的中心之间的偏移量取决于从光接收区的中心到孔的中心的距离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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