[发明专利]现场吸气泵系统和方法

摘要

一种晶片处理系统，它包括：处理室，连到处理室用于抽吸惰性和非惰性气体的低压泵，将惰性气体源连到处理室的阀门机构，配置在处理室内的现场吸气泵、此泵在惰性气体流入处理室的过程中抽吸某些非惰性气体，处理机构、用于处理设置在处理室内的晶片。优选地是，现场吸气泵可在几个不同的温度下运行，使得能在这些温度下优选地抽吸不同种类的气体。气体分析器用于自动控制吸气泵的温度，以便控制从处理室中抽吸的气体种类。本发明的处理晶片的方法包括以下步骤：在处理室内放置晶片并密封处理室、惰性气体流入处理室而利用外部低压泵和配置在室内抽吸非惰性气体的现场吸气泵同时抽吸处理室，并且处理室内的晶片而惰性气体继续流动。该方法优选地还包括以下步骤：监测室内的气体组成并在组成分析的基础上控制吸气剂材料的温度。

主权项

1、一种现场吸气泵微型组件，它包括：彼此间隔开的吸气剂元件，使得相邻的吸气剂元件不紧靠在一起，其中每个吸气剂元件具有一个中心定位孔；和通过所述吸气剂元件的孔而配置的以便支承和加热所述吸气剂元件的加热器；以及用于热屏蔽所述吸气剂材料的挡热板。