[发明专利]喷头、薄膜制造装置以及制造方法

摘要

提供一种可在生产性、批量生产性上优异的薄膜制造装置以及制造方法，该薄膜制造装置再现根据成膜条件可进行温度控制的喷头、良好的膜厚分布、组成分布、成膜速率，同时，可长期稳定地进行粒子数少的连续成膜。其构成为，将喷头构造组装到成膜槽的上盖，通过在上盖上设置热交换装置，对上盖进行温度控制，在构成喷头表面的喷淋板和上盖的接触面上进行热交换，根据成膜条件，可对喷头进行温度控制。是在成膜槽上具有该喷头的薄膜制造装置，使用该装置制造薄膜。

主权项

1.一种喷头，是从可进行真空控制的成膜槽的上部，通过喷头将成膜气体导入槽内的上部空间，在基板上成膜的薄膜制造装置的喷头，其特征在于，其构成为，喷头构造组装于成膜槽的上盖，通过在上盖上设置热交换装置，对上盖进行温度控制，在构成喷头表面的圆盘状的喷淋板与该上盖的接触面上进行热交换，根据成膜条件，可对喷头进行温度控制。