[发明专利]测量方法及测量装置无效
| 申请号： | 200410056377.5 | 申请日： | 2004-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN1580690A | 公开（公告）日： | 2005-02-16 |
| 发明（设计）人： | 高井望;小栗正明 | 申请（专利权）人： | 株式会社东京精密;株式会社东精工程 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种测量方法和测量装置。以代入用于修正测量装置固有的几何的测量误差的修正计算式中的设计值中的多个设计值为变量，通过数值解法将该变量最优化，并使用所得到的最优化修正计算式运算测量值。变量的最优化是，通过测量标准工件，并调整变量以使测量误差最小而完成的。 | ||
| 搜索关键词： | 测量方法 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种测量方法，其是使探头接触工件并测量该工件的尺寸的，其特征在于，存储基于用于修正测量装置固有的几何的测量误差的设计值的修正计算式；测量工件并运算使用所述修正计算式的测量值；以代入所述修正计算式中的设计值中的多个设计值为变量并通过数值解法将该变量最优化，以使所述被运算的测量值和真值的误差最小；存储将所述被最优化的变量代入的最优化修正计算式；在以后的测量中使用所述最优化修正计算式而运算测量值。
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