[发明专利]镀膜系统及其膜厚监控装置无效
| 申请号： | 200410056412.3 | 申请日： | 2004-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN1730720A | 公开（公告）日： | 2006-02-08 |
| 发明（设计）人： | 康兴达;张绍雄 | 申请（专利权）人： | 台达电子工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;G01B11/06;G01B21/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 台湾省桃园*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种膜厚监控装置，用以监控镀于一光学基板上的光学薄膜的厚度，包含一激光光源、一回归反射器(retro－reflector)及一光接收器。激光光源沿一第一路径发出穿透该光学薄膜的光束，回归反射器置于光学基板相对激光光源的另一侧，以反射光束并使光束以平行第一路径的一第二路径再次穿透光学薄膜，且光接收器接收沿第二路径穿透光学薄膜的光束。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 系统 及其 监控 装置 | ||
【主权项】：
1.一种膜厚监控装置，用以监控镀于一光学基板上的光学薄膜的厚度，该光学基板固定于一夹持机构的一表面上，该膜厚监控装置包含：至少一光源，沿一第一路径发出穿透该光学薄膜的一光束；至少一回归反射器，置于该夹持机构相对该光源的另一侧，以反射该光束并使该光束以平行该第一路径的一第二路径再次穿透该光学薄膜；及至少一光接收器，接收沿该第二路径穿透该光学薄膜的该光束。
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