[发明专利]控制液体假配发的方法与系统有效
| 申请号： | 200410056831.7 | 申请日： | 2004-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN1612044A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 吴宏益;翁志荣;倪中政;游奕欣 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王燕秋 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 液体的假配发的控制通过纪录处理基材时的时间、纪录配发液体时的时间、以及比较处理基材时的时间与配发液体时的时间，并在需要进行假配发时产生假配发讯号。一种控制液体的假配发的系统，包括至少一信息储存组件，用来储存处理基材时的时间以及配发液体时的时间；至少一处理器比较处理基材时的时间与配发液体时的时间，以判断须否需要进行假配发。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 液体 配发 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种控制液体的假配发的方法，其特征在于，该方法至少包括：(a)纪录处理一基材时的一时间；(b)纪录配发一液体时的一时间；(c)比较处理该基材时的该时间与配发该液体时的该时间，以判断是否需要进行一假配发；以及(d)当需要进行该假配发时，产生一假配发讯号。
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