[发明专利]具有分散铰链和多个支撑附件的微机电系统扫描镜有效
| 申请号： | 200410056963.X | 申请日： | 2004-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN1740843A | 公开（公告）日： | 2006-03-01 |
| 发明（设计）人： | 傅冶中 | 申请（专利权）人： | 先进奈米系统公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G03G15/00;G03B21/00;H04N5/74;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种微机电系统扫描镜设备，其包括一个扫描镜、旋转梳齿、固定梳齿、分散蛇形弹簧和锚。扫描镜和旋转梳齿由来自固定平面内和/或平面外齿的静电力驱动。通过多个支撑附件来将镜附着到旋转梳状结构上。多个蛇形弹簧充当将可移动结构链接到固定支撑结构的柔性铰链。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 分散 铰链 支撑 附件 微机 系统 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(MEMS)扫描镜设备，其包含：一扫描镜；一梁体结构，其一端连接到该扫描镜上的复数个位置；复数个旋转梳齿，其连接到该梁体结构；和一弹簧，其一端连接到该梁体结构。
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