[发明专利]金属在金属上的组件及其制造方法有效
申请号: | 200410057104.2 | 申请日: | 2004-08-19 |
公开(公告)号: | CN1606168A | 公开(公告)日: | 2005-04-13 |
发明(设计)人: | 张家龙;陈俊宏 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/00 | 分类号: | H01L29/00;H01L27/02;H01L21/02;H01L21/82 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王一斌 |
地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种金属在金属上(MOM)的组件及其制造方法。该组件具有至少一组件单元位于一包含一框架部分以及一受到该框架部分所围绕的中心部分的第一层别上;该中心部分具有一十字型中心处以定义该框架与中心部分为四个空间象限。该中心部分具有一或一个以上中心指状物,每一中心指状物由其至少四个末端中的一末端于一象限中延伸;该框架部分也同样具有一或一个以上的框架指状物自此处延伸,每一框架指状物位于一象限中且不与位于同象限的中心指状物重叠。 | ||
搜索关键词: | 金属 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种金属在金属上的组件,其具有至少一组件单元位于一第一层别上,每一单元包含:一框架部分;以及一中心部分,其受到该框架部分所围绕,并具有一十字型中心处定义该框架与中心部分为四个空间象限;其中该中心部分具有一或一个以上中心指状物,该每一中心指状物由其至少四个末端中的一末端于一象限中延伸;其中该框架部分也同样具有一或一个以上框架指状物自此处延伸,每一框架指状物位于一象限中,并且不与位于同象限的中心指状物重迭。
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