[发明专利]蓝光、黄光量子阱堆叠结构白光发光二极管及制作方法无效
申请号: | 200410057150.2 | 申请日: | 2004-08-27 |
公开(公告)号: | CN1741290A | 公开(公告)日: | 2006-03-01 |
发明(设计)人: | 郭伦春;王晓亮;王军喜;肖红领;曾一平;李晋闽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种蓝光、黄光量子阱堆叠结构的白光发光二极管,包括:一蓝宝石衬底、或氮化镓衬底、或碳化硅衬底、或硅衬底;一缓冲层制作在衬底上;一N型氮化镓外延层制作在缓冲层上;一N型掺杂的AlaInbGa1-a-bN四元合金制作在N型氮化镓外延层上;一InxGa1-xN/AlaInbGa1-a-bN蓝光量子阱层生长制作在N型AlaInbGa1-a-bN层上;一InyGa1-yN/AlaInbGa1-a-bN黄光量子阱层生长制作在InyGa1-yN/AlaInbGa1-a-bN蓝光量子阱上;或在N型AlaInbGa1-a-bN层上先生长InyGa1-yN/AlaInbGa1-a-bN黄光量子阱,然后再在InyGa1-yN/AlaInbGa1-a-bN黄光量子阱上生长InxGa1-xN/AlaInbGa1-a-bN蓝光量子阱;生长P型Al0.1Ga0.9N和P型GaN盖帽层。 | ||
搜索关键词: | 光量子 堆叠 结构 白光 发光二极管 制作方法 | ||
【主权项】:
1、一种蓝光、黄光量子阱堆叠结构的白光发光二极管,其特征在于:其中包括:一蓝宝石衬底、或氮化镓衬底、或碳化硅衬底、或硅衬底;一缓冲层,该缓冲层制作在衬底上;一N型氮化镓外延层,该N型氮化镓外延层制作在缓冲层上;一N型掺杂的AlaInbGa1-a-bN四元合金,该四元合金制作在N型氮化镓外延层上;一InxGa1-xN/AlaInbGa1-a-bN蓝光量子阱层,该InxGa1-xN/AlaInbGa1-a-bN蓝光量子阱生长制作在N型AlaInbGa1-a-bN层上;一InyGa1-yN/AlaInbGa1-a-bN黄光量子阱层,该InyGa1-yN/AlaInbGa1-a-bN黄光量子阱生长制作在InyGa1-yN/AlaInbGa1-a-bN蓝光量子阱上;或在N型AlaInbGa1-a-bN层上先生长InyGa1-yN/AlaInbGa1-a-bN黄光量子阱,然后再在InyGa1-yN/AlaInbGa1-a-bN黄光量子阱上生长InxGa1-xN/AlaInbGa1-a-bN蓝光量子阱;生长P型Al0.1Ga0.9N和P型GaN盖帽层。
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