[发明专利]外观检查用投光装置

摘要

本发明的外观检查用投光装置，其包括：照明光源；将来自该照明光源的光向被检查部件反射的反射光学系统；以及配置在该反射光学系统的反射光路上的聚光光学系统；所述聚光光学系统至少被分成2个部分，通过来自这些被分开的各聚光光学系统的照明光束能够照射所述被检查部件的整个表面。

主权项

1.一种外观检查装置，其是照射大型基板的表面并对基板面进行宏观检查的，其特征在于具有：支架，其在装置本体内部可转动的被设置，以便在前后方向起伏转动，并用于保持所述大型基板；照明光源，其被配置于所述装置本体内部的上方，用于照明所述大型基板的表面；第1反射镜，其被配置于所述照明光源的出射光轴上，把从所述照明光源射出的照明光反射向斜上方；第2反射镜，其被配置于所述支架的上方，将由所述第1反射镜反射的照明光向保持在所述支架上的所述大型基板的基板面反射；聚光光学系统，其被配置于所述第2反射镜和所述支架之间，使所述第2反射镜反射的照明光聚束，从而照射所述大型基板的表面。