[发明专利]半导体器件的接触结构及其制造方法无效
申请号: | 200410057912.9 | 申请日: | 2004-08-26 |
公开(公告)号: | CN1604315A | 公开(公告)日: | 2005-04-06 |
发明(设计)人: | 金俊永;崔秉龙;李银京 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L23/52;H01L29/78;H01L27/04;H01L21/28;H01L21/768;H01L21/82 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波;侯宇 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种半导体接触结构,包括:一衬底;具有与衬底相反极性的一导电掺杂层,该导电掺杂层形成在衬底中;形成在导电掺杂层上的一导电层;以及形成在衬底中导电掺杂层下方的一绝缘掺杂层。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 接触 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体的接触结构,包括:一衬底;具有与该衬底相反极性的一导电掺杂层,该导电掺杂层形成在衬底中;形成在所述导电掺杂层上的一导电层;及形成在所述衬底中所述导电掺杂层下方的一绝缘掺杂层。
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