[发明专利]塑料基板的有机薄膜晶体管制作方法无效
| 申请号： | 200410058084.0 | 申请日： | 2004-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN1734807A | 公开（公告）日： | 2006-02-15 |
| 发明（设计）人： | 黄良莹;何家充;李正中 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H01L51/40 | 分类号： | H01L51/40;H01L51/05 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种塑料基板有机薄膜晶体管的制作方法，主要包括下列步骤：提供一母模及一塑料基板，其中该母模具有一凸版结构，以该母模对该塑料基板进行压挤成形，以定义出该塑料基板的导电电极位置，并于该塑料基板的导电电极位置形成导电电极，之后，形成一半导体层，形成一绝缘层，形成栅极，最后形成一保护层，其中，该塑料基板可以使用具有侧链末端基为－CH3或－NH2的高分子材料作为基板材料，例如：聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、金属茂基环烯烃共聚物(mCOC)等塑料材料。 | ||
| 搜索关键词： | 塑料 有机 薄膜晶体管 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种塑料基板有机薄膜晶体管的制作方法，其特征在于其步骤包括：(a)提供一母模及一塑料基板，其中该母模具有一凸版结构；(b)以该母模对该塑料基板进行压挤成形，以定义出该塑料基板的导电电极位置；(c)于该塑料基板的导电电极位置形成导电电极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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