[发明专利]有害气体的净化装置无效
| 申请号： | 200410058207.0 | 申请日： | 2004-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN1584400A | 公开（公告）日： | 2005-02-23 |
| 发明（设计）人： | 岛田孝;小礒保彦;村永直树;笠谷尚史;池田友久 | 申请（专利权）人： | 日本派欧尼株式会社 |
| 主分类号： | F23G5/027 | 分类号： | F23G5/027;F23G7/06 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种有害气体的净化装置。其提供一种净化装置，该净化装置可在不采用大型或复杂的结构的情况下，针对从半导体制造步骤排出的有害气体，抑制处理对象有害气体的分解率的降低，以及分解室壁面的粉状物的堆积，长时间地，安全稳定地对该有害气体进行净化处理。一种有害气体的净化装置，其通过燃烧燃料而获得的燃烧排气或火焰，对从半导体制造步骤排出的有害气体进行热分解，对其进行净化处理，其按照将热分解室的侧面作为具有通气性和隔热性的壁，通过该壁，将含氧的气体导入热分解室的方式构成。 | ||
| 搜索关键词： | 有害 气体 净化 装置 | ||
【主权项】：
1.一种有害气体的净化装置，其通过燃烧燃料而获得的燃烧排气或火焰，对从半导体制造步骤排出的有害气体进行热分解，对其进行净化处理，其特征在于其至少包括有害气体的热分解室；喷嘴，该喷嘴将燃烧排气或火焰导入该热分解室；将有害气体导入该热分解室的喷嘴；通过通气性的隔热壁，将含氧的气体从侧面，导入该热分解室的机构；排出口，该排出口将热分解后的气体排向外部。
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