[发明专利]处理含全氟化合物及/或含氢氟烃废气的方法有效
| 申请号： | 200410058485.6 | 申请日： | 2004-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN1736566A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 林树荣 | 申请（专利权）人： | 慧群环境科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/86 | 分类号： | B01D53/86;B01D53/70;B01J23/745 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种处理含全氟化合物及/或含氢氟烃废气的方法，此方法是将含全氟化合物及/或含氢氟烃废气与铁氧化物触媒进行气固接触，并进行电浆氧化反应，之后再以触媒进行气固接触及氧化反应，以达到分解全氟化合物及/或含氢氟烃的目的。由于本发明可在较先前技术低许多的温度下操作，其能源消耗小且不具着火危险性，因此，非常适合用来去除半导体及光电制造工厂所产生的含全氟化合物的废气。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 氟化 含氢氟烃 废气 方法 | ||
【主权项】：
1、一种处理含全氟化合物及/或含氢氟烃废气的方法，其特征在于其包括以下步骤：以一电浆处理该含全氟化合物及/或含氢氟烃的废气；以及以一触媒处理该含全氟化合物及/或含氢氟烃的废气。
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