[发明专利]热绝缘的光学装置有效
| 申请号： | 200410059398.2 | 申请日： | 2004-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN1601384A | 公开（公告）日： | 2005-03-30 |
| 发明（设计）人： | B·法迪;F·阿迪比;C·李;A·班迪奥帕迪亚雅;M·忠纳卡 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00;H04B10/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平;杨松龄 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 可以将一种热光装置做成带有沟槽，这些沟槽挖掉在热光装置下面的基底。通过除去下面的基底可以减少热光装置的热耗散。这样可以减少该装置的热需求，降低为了在某些实施例中运行的供电要求。 | ||
| 搜索关键词： | 绝缘 光学 装置 | ||
【主权项】：
1.一种方法，它包括：在半导体基底上形成热光装置；以及把在该热光装置下面的一部分半导体基底除去。
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