[发明专利]制程反应室除尘装置及具有除尘功能的制程反应室有效
| 申请号： | 200410059425.6 | 申请日： | 2004-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN1595242A | 公开（公告）日： | 2005-03-16 |
| 发明（设计）人： | 林昆民 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/133 | 分类号： | G02F1/133;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘领弟 |
| 地址： | 台湾省新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种制程反应室除尘装置及具有除尘功能的制程反应室。为提供一种能自动化对加热板表面进行清洁、提高加热板表面的清洁效率的显示装置部件制造设备附属装置，提出本发明，制程反应室除尘装置包括设于制程反应室加热板上方的集尘舱及提供吸力来源的负压管路；集尘舱设置于加热板上方，其具有至少一集尘口一个排气口；负压管路与集尘舱排气口相连接；具有除尘功能的制程反应室包括可加热空气以进行制程中所需反应的加热板设置于加热板上方的集尘舱及负压管路；集尘舱具有至少一集尘口及一排气口；负压管路与集尘舱的排气口连接。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 除尘 装置 具有 功能 | ||
【主权项】：
1、一种制程反应室除尘装置，其特征在于它包括设于制程反应室加热板上方的集尘舱及提供吸力来源的负压管路；集尘舱设置于加热板上方，其具有至少一集尘口一个排气口；负压管路与集尘舱排气口相连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于友达光电股份有限公司，未经友达光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410059425.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种轨道交通车辆动力运行方向改变后的再确定方法
- 下一篇：自动煮饮料水壶
