[发明专利]液体喷头的制造方法有效
| 申请号： | 200410059838.4 | 申请日： | 2004-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN1572505A | 公开（公告）日： | 2005-02-02 |
| 发明（设计）人： | 小室博和;室冈文夫 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种液体喷头的制造方法，该液体喷头具备基板(11)，该基板(11)具有用于从喷出口(16)喷出口液体的电热变换体(13)，使该电热变换体(13)与其驱动元件(21～23)导通的电极布线部分(26)和贯通状态的液体供给口(12)，该制造方法包括：在形成电极布线部分(26)时使用与电极布线部分(26相同的材料在液体供给口(12)的形成位置形成替换层的工序；形成覆盖替换层的耐腐蚀层的工序；从与形成电热变换体(13)的面相反一侧的面腐蚀基板(11)去除替换层，使成为液体供给口(12)的部分的耐腐蚀层露出的工序；去除该露出的耐腐蚀层在基板(11)上形成液体供给口(12)的工序，能够谋求缩短液体喷头的制造作业工序。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 喷头 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液体喷头的制造方法，该液体喷头具备基板，该基板具有：用于从喷出口喷出液体的喷出能量发生单元；在该喷出能量发生单元的下层经由绝缘层设置的用于驱动该喷出能量发生单元的驱动元件；使该驱动元件与上述喷出能量发生单元导通的、由以铝为主要成分的材料构成的电极布线部分；在上述绝缘层上形成以便覆盖上述喷出能量发生单元的保护层和贯通状态的液体供给口，其特征在于包括：在形成上述电极布线部分时使用与上述电极布线部分相同的材料在上述液体供给口的形成位置形成替换层的工序；形成覆盖上述替换层的、对于腐蚀液具有耐腐蚀性的耐腐蚀层的工序；从与形成了上述喷出能量发生单元的面相反的一侧的面露出上述替换层为止，用上述腐蚀液腐蚀上述基板的工序；进而进行腐蚀去除上述替换层，使成为上述液体供给口的部分的上述耐腐蚀层露出的工序；以及去除该露出的耐腐蚀层后在上述基板上形成上述液体供给口的工序。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410059838.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
