[发明专利]光学开关及其制造方法无效
| 申请号： | 200410059846.9 | 申请日： | 2004-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN1637457A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 李贤基;尹湘基 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 林宇清;谢丽娜 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学开关及其制造方法。在本发明中，基底层具有接收光信号的输入端以及有选择地接收来自于输入端的光信号从而把光信号传输到外面的输出端。在与光信号交叉的方向上，微型镜面分别可移动地位于从输入端接收光信号的光信号通路上，以便有选择地将光信号从第一光通路改变到第二光通路上。MEMS致动元件在光通路上面的层中形成并且分别和微型镜面连接，以便在和光信号交叉的方向驱动微型镜面。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 开关 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学开关，其中，包括：基底层，具有用来接收光信号的输入端以及用来有选择地接收来自于输入端的光信号从而把光信号传输到外面的输出端；微型镜面，可移动地位于光信号的光信号通路上，所述的光信号分别来自于基底层的输入端，每个所述微型镜面可以在和光信号交叉的方向上移动，从而从第一光通路到第二光通路有选择地改变光信号路径；和微机电系统(MEMS)致动元件，分别在光信号通路之上的层中形成，并且和各微型镜面相连接，用于在与光信号交叉的方向上驱动微型镜面。
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