[发明专利]镀膜承载结构的改良无效
申请号: | 200410060110.3 | 申请日: | 2004-06-25 |
公开(公告)号: | CN1712559A | 公开(公告)日: | 2005-12-28 |
发明(设计)人: | 李荣洲 | 申请(专利权)人: | 亚洲光学股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人: | 唐秀萍 |
地址: | 台湾省台中潭子乡*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种镀膜承载结构的改良,该结构应用于真空镀膜设备中并用来承载需镀膜的元件,其至少包括有一具有一定承载面积的伞状承载座、位于承载座的中心并可将承载座连接至动力源轴承上的安装孔,以及若干个排布于承载座上并具菱形结构的镀膜孔。镀膜承载结构的每一镀膜孔均可安装一与其构形相同的菱形接合部,而每一菱形接合部均可容纳多个镀膜元件。借由该镀膜承载结构的改良构造可使得每次镀膜的元件数量增加,从而提升镀膜效率。 | ||
搜索关键词: | 镀膜 承载 结构 改良 | ||
【主权项】:
1.一种镀膜承载结构的改良,其应用于镀膜设备中作为镀膜夹治具以承载需镀膜的元件,该镀膜承载结构至少包括有:一个具有一定承载面积的承载座、位于承载座的中心并可将承载座连接至动力源轴承上的安装孔,以及若干个排布于承载座上的镀膜孔,其特征在于:镀膜孔是呈菱形结构,其可使得每次镀膜的元件数量增加,从而提升镀膜效率。
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