[发明专利]制备不透气层的设备和方法无效
| 申请号： | 200410061544.5 | 申请日： | 2004-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN1730717A | 公开（公告）日： | 2006-02-08 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·黑格曼;伊丽莎白·佐默 | 申请（专利权）人： | 应用薄膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C23C14/20 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 郭国清;樊卫民 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及制备不透气层的设备和方法，特别涉及制备不透气合成材料基材涂层的设备和方法。使用所述设备或所述方法，仅用一种溅射设备即可制备可透光的以及不可透光的气体阻挡层。并可进行从一种供气如氩气到第二种供气如氩气、氧气和氮气的简单转换，或进行相反的转换过程。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 不透 气层 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备不透气层的设备，特别是制备不透气合成材料基材涂层的设备，其特征在于：a)具有至少一个铝靶(31、32)的真空溅射室(30)；b)至少两个气体容器(37、38)，其通过至少一个可被关闭的气体进入管线(43～45)与真空溅射室(30)连接。
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