[发明专利]探针载体的制造方法和制造装置

摘要

提供一种探针载体的制造方法和制造装置，用来以高的生产率制造质量良好的探针阵列。为此，在用液体吐出头把探针溶液施加到载体上，描画由多个探针的射中形状构成的图像时，用预先描画的图案评价描画精度，把其结果反馈到在载体上描画作为制品的图像的过程中。

主权项

1.一种探针载体的制造方法，该探针载体具有在载体的预定位置上配置互相独立的多个探针的固定区域而形成的图像，其特征在于包括：第一描画工序，把载体支撑在支撑装置上，使具有多个液体吐出部的液体吐出头相对于该载体移动，从预定的液体吐出部在该载体的上述预定位置上吐出含有可与标的物特异结合的探针的探针溶液，在该载体上描画由互相独立的多个探针的固定区域构成的预备图像；评价工序，评价上述载体上的预备图像的描画精度；设定工序，设定反馈了上述描画精度的评价结果的描画条件；以及第二描画工序，在该描画条件下，使具有多个液体吐出部的液体吐出头相对于在支撑装置上支撑的载体移动，从预定的液体吐出部在该载体的上述预定位置上吐出含有可与标的物特异结合的探针的探针溶液，在该载体上描画由互相独立的多个探针的固定区域构成的最终图像，得到上述探针载体。