[发明专利]半导体装置及其制造方法无效
申请号: | 200410062179.X | 申请日: | 2004-07-02 |
公开(公告)号: | CN1577777A | 公开(公告)日: | 2005-02-09 |
发明(设计)人: | 尾形义春 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/00;H01L25/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种装配性及可靠性非常优越的半导体装置及其制造方法。准备安放了形成有多个第一焊盘(14)的第一半导体芯片(10)的布线基板(20)。各第一焊盘(14)与各布线图案(22)之间分别用导线(30)电连接。在第一半导体芯片(10)上设置树脂浆(40)。将形成有多个第二焊盘的第二半导体芯片(50)通过介入树脂浆(40)搭载在第一半导体芯片(10)上。树脂浆(40)被固化后形成隔离层(60),将第一与第二半导体芯片(10、50)固定。隔离层(60),形成在第二焊盘(54)下方直到外侧。导线(30)按其最高部位被配置在第一半导体芯片(10)的外侧的方式而进行设置。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种半导体装置的制造方法,其特征在于,包括:准备搭载了形成有多个第一焊盘的第一半导体芯片并具有布线图案的布线基板的工序;将各所述第一焊盘与所述布线图案采用导线进行电连接的工序;在所述第一半导体芯片上设置树脂浆的工序;将形成有多个第二焊盘的第二半导体芯片,按照与所述第一焊盘的至少一部分隔开间隔而重叠的方式,通过介入所述树脂浆后搭载在所述第一半导体芯片上的工序;以及让所述树脂浆固化,在所述第一半导体芯片和所述第二半导体芯片之间形成隔离层,将所述第一以及第二半导体芯片固定的工序; 所述隔离层在所述第二焊盘之下形成并直到外侧;所述导线按照其最高部位配置在所述第一半导体芯片外侧的方式进行设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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