[发明专利]去除TFT－LCD制造工艺中彩色抗蚀剂的剥离组合物有效
| 申请号： | 200410062400.1 | 申请日： | 2004-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN1577112A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 尹锡壹;金圣培 | 申请（专利权）人： | 东进瑟弥侃株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王琦;宋志强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种去除TFT－LCD制造工艺中彩色抗蚀剂的剥离组合物，更特别地涉及一种剥离组合物，该剥离组合物在滤色器工艺期间选择性除去质量差的衬底的彩色抗蚀剂，因此能够重复使用衬底。本发明的剥离组合物具有经济的优点，由于它能够实现滤色器衬底的循环使用，而先前该衬底由于彩色抗蚀剂图案难以脱除而被浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 去除 tft lcd 制造 工艺 彩色 抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
1、一种用于除去彩色抗蚀剂的剥离组合物，包括：(a)1～10wt％无机碱金属氢氧化物或氢氧化烷基铵；(b)40～95wt％二甲亚砜；和(c)4～50wt％水。
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