[发明专利]感光性树脂前体组合物有效
| 申请号： | 200410062424.7 | 申请日： | 2004-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN1577088A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 藤田阳二;弓场智之;诹访充史 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及曝光后放置稳定性优异的、可碱显影的正型感光性树脂前体组合物。此外，本发明为一种感光性树脂前体组合物，其特征为包含(a)以通式(1)所示结构单元为主成分的聚合物、(b)2种或其以上的光产酸剂、(c)含有烷氧基甲基的化合物。式中R1表示具有2个或其以上碳原子的2价到8价的有机基团、R2表示具有2个或其以上碳原子的2价到6价的有机基团、R3表示氢、或碳原子数为1到20的有机基团中的任何一种。n表示10到100000，m为0到2的整数、p、q表示0到4的整数。其中p+q＞0。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂前体组合物，其特征在于，包含(a)以通式(1)所示结构单元为主成分的聚合物、(b)2种或其以上的光产酸剂、(c)含有烷氧基甲基的化合物，![]()
式中R1表示具有2个或其以上碳原子的2价到8价的有机基团、R2表示具有2个或其以上碳原子的2价到6价的有机基团、R3表示氢、或碳原子数为1到20的有机基团中的任何一种，n表示10到100000，m为0到2的整数、p、q表示0到4的整数，其中p+q＞0。
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