[发明专利]缺失晶粒的检测有效
申请号: | 200410062761.6 | 申请日: | 2004-07-09 |
公开(公告)号: | CN1576824A | 公开(公告)日: | 2005-02-09 |
发明(设计)人: | 王凡;梁永康 | 申请(专利权)人: | 先进自动器材有限公司 |
主分类号: | G01N21/55 | 分类号: | G01N21/55;G01N21/27 |
代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周春发 |
地址: | 香港新界葵涌工业*** | 国省代码: | 中国香港;81 |
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摘要: | 在夹体组件的区域是否存在目标物体的显示是通过监控该区域反射的光线获得的。反射光线的利用使得物体存在的检测成为可能,尤其是透明物体。在用于决定蓝宝石晶粒是否存在于晶粒处理夹体组件的较佳的装置中,光源的光线被校准或者聚焦成为狭窄的光束,并且被导引通过分光器于夹体组件的目标位置。从该晶粒表面反射的光由分光器进一步反射到光感测器。在运送键合位置的晶粒的途中,当夹体经过暗背景上方时该反射光线被测量;而在尝试放置该晶粒于该键合位置后返回的时候,该反射光线再一次被测量。在前次测量中该晶粒存在的测定和在后次测量中该晶粒缺失的测定,表明在键合位置晶粒放置良好。 | ||
搜索关键词: | 缺失 晶粒 检测 | ||
【主权项】:
1、一种用于在夹体组件的区域检测目标物体存在与否的装置,该装置包括:光源,用于至少照射该区域的局部;光检测器,用于接收该光源的至少部分光线,此时该光线由位于该区域的目标物体反射。
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