[发明专利]细雾发生方法及其装置无效

专利信息
申请号: 200410063113.2 申请日: 2004-05-27
公开(公告)号: CN1572375A 公开(公告)日: 2005-02-02
发明(设计)人: 坂井田敦资;谷口敏尚;高田庆吉;竹田乔一 申请(专利权)人: 株式会社电装
主分类号: B05B7/04 分类号: B05B7/04;B05B1/28
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 杨松龄
地址: 日本爱知*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 通过使用导入加压气体的喷射喷嘴(33)喷射贮存在发生室(2)内的液体(10),使液体碰撞到缓冲阀(4)上并细微化,将产生的喷雾保持在发生室(2)内,同时将细微化的雾导入粒子分选器(5)内,并与碰撞板(52)碰撞,然后将该碰撞板上发射的小于10μm的粒子作为细雾从排放口(56)排放去,以供给目标工件。附着在碰撞板上的大粒子被回收到发生器内。
搜索关键词: 发生 方法 及其 装置
【主权项】:
1.一种细雾发生方法,该方法将液体细微化成细雾状态,并排放细雾,其特征在于:在贮存液体的发生室内,利用导入加压气体的喷射喷嘴喷射所述液体,使液体碰撞到缓冲阀上,以保持细微化,同时将这些细微化的微粒子导入分选器,并碰撞到碰撞板上,将推斥粒子作为细雾排放到外部。
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