[发明专利]格子形成方法、模具、成形品及模具制造用的掩膜构件的制造方法无效
| 申请号： | 200410063267.1 | 申请日： | 2004-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN1576893A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 花冈正志;林贤一;山本稔 | 申请（专利权）人： | 株式会社三协精机制作所 |
| 主分类号： | G02B1/11 | 分类号： | G02B1/11 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 胡烨 |
| 地址： | 日本长野*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供即使用机械加工形成格子周期为1μm以下的微细格子也不产生毛刺、表面粗糙及弯曲少的格子形成方法、利用该方法在成形面上形成微细格子的模具和将该模具的微细格子的形状复制于表面的成形品。使刀杆32围绕轴线L进行旋转，并通过用金刚石刀头30的移动切削加工，在材料W的表面形成格子周期为1μm以下的微细格子10。这时，根据格子周期，对金刚石刀头30的送进速度、振动振幅或送进量进行控制，防止毛刺的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 格子 形成 方法 模具 成形 制造 构件 | ||
【主权项】：
1、一种格子形成方法，用于在材料表面形成格子周期为1μm以下的微细格子，其特征在于，在用金刚石刀头的刀尖对所述材料表面进行切削而形成格子周期为Pμm的微细格子时，在将所述金刚石刀头的送进速度设成Fmm/min时，使送进速度F满足以下的条件式：F＜100P3。
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