[发明专利]反射镜和使用反射镜的光刻装置有效
| 申请号： | 200410063502.5 | 申请日： | 2004-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN1576903A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | L·P·巴克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邹光新;张志醒 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及具有反射表面的反射镜，反射表面包含一个或多个突起，突起材料选自Be、B、C、P、S、K、Ca、Sc、Br、Rb、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、Ba、La、Ce、Pr、Pa、U的至少之一，或者反射表面包含一个或多个第一材料的第一突起，第一材料选自Be、B、C、P、S、K、Ca、Sc、Br、Rb、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、Ba、La、Ce、Pr、Pa、U的至少之一，反射表面包含一个或多个第二材料的第二突起，第二材料选自Be、B、C、Si、P、S、K、Ca、Sc、Br、Rb、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、Ba、La、Ce、Pr、Pa、U的至少之一，第一与第二材料不同。本发明还涉及包含这种反射镜的光刻投影装置。本发明还涉及使用这种光刻投影装置的设备制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 使用 光刻 装置 | ||
【主权项】：
1.具有反射表面的反射镜，其中该反射表面包含一个或多个包括第一材料的第一突起，还包含一个或多个包括第二材料的第二突起，并且其中该第一和第二材料并不相同。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410063502.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
