[发明专利]用于光致抗蚀的保护涂层组合物和用其形成光致抗蚀图案的方法无效
| 申请号： | 200410063569.9 | 申请日： | 2004-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN1609707A | 公开（公告）日： | 2005-04-27 |
| 发明（设计）人： | 郑载昌 | 申请（专利权）人： | 海力士半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开用于光致抗蚀的保护涂层组合物及使用该组合物的方法。详言之，公开包含可稳定地将酸变弱的材料的用于光致抗蚀的保护涂层组合物。该等材料中和大量在光致抗蚀薄膜顶部所产生的酸，以使该酸的垂直分布一致化。结果可得到小于100nm厚度的垂直且精细的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光致抗蚀 保护 涂层 组合 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于光致抗蚀的保护涂层组合物，该组合物包含(i)冠醚化合物或式1所示的盐化合物、(ii)包含式2所示的重复单元的碱可溶性树脂和(iii)蒸馏水：[式1]X+-Y[式2]![]()
其中X是为一级、二级或三级胺；Y为羧酸根或卤素元素；R1和R2各自为氢或甲基；R3为直链或支链C1-C10烷基；且a∶b的相对比例等于2～20摩尔％：80～90摩尔％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于海力士半导体有限公司，未经海力士半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410063569.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一对多数据投影系统和方法
- 下一篇：将远程客户机连接到本地客户机桌面的结构
