[发明专利]用于包含若干腔的涂覆设备的能量和介质的连接装置无效
| 申请号： | 200410063722.8 | 申请日： | 2004-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN1654704A | 公开（公告）日： | 2005-08-17 |
| 发明（设计）人： | 吉多·哈滕多夫;格特·勒德林;格哈德·里斯特 | 申请（专利权）人： | 应用薄膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陆弋;顾红霞 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于涂覆设备的能量和介质连接组件。所述组件用于供给冷却水、压缩空气、加工气体、信号、控制和阴极能量。它可以沿着涂覆线路由一个人在短时间内从一个涂覆腔移动到另一个涂覆腔。而且，为了维修和更换能够将能量连接组件从涂覆腔分开而不需要机械拆卸所有的连接件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 包含 若干 设备 能量 介质 连接 装置 | ||
【主权项】：
1.用于包括若干个腔的涂覆设备(97)的能量和介质连接装置，其中，每个腔(92至96)具有单独分配的溅镀阴极并且其中特定数目的冷却介质管路(2至6)和电气线路(16至20)引向腔(92至96)，其特征在于，能量和介质连接装置形成为组件(1)，并且包括用于冷却介质管路(2至6)和电气线路(16至20)的连接件的数目为具有最多供给管线的腔所需的数目，并且该组件(1)可以从一个腔转移到另一腔。
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