[发明专利]微加工的机电装置有效
| 申请号： | 200410063868.2 | 申请日： | 2004-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN1616340A | 公开（公告）日： | 2005-05-18 |
| 发明（设计）人： | 姚奎;何旭江;张健;桑迪拉让－山内格拉斐 | 申请（专利权）人： | 新加坡科技研究局 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;H01L41/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 一种用于制造MEMS装置的方法，包括提供一个基片，该基片具有一个背侧、一个与背侧相反的前侧和一个外周部分。预期的微结构形成在基片背侧。然后，基片被支承着旋转。一种前体溶液在旋转过程中被沉积在基片前侧，以形成薄膜层，在形成薄膜层的过程中，基片被支承并旋转，形成在背侧的微结构被保护着。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 机电 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造微加工装置薄膜结构的方法，包括：提供基片；在基片的背侧形成微结构；在微结构形成之后，向基片的前侧沉积前体溶液并同时旋转基片，以便在该前侧上形成薄膜层。
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