[发明专利]电镀组合物及电镀方法有效
申请号: | 200410063902.6 | 申请日: | 2004-04-07 |
公开(公告)号: | CN1570219A | 公开(公告)日: | 2005-01-26 |
发明(设计)人: | R·贝卡;N·D·布朗;K·王 | 申请(专利权)人: | 罗姆和哈斯电子材料有限责任公司 |
主分类号: | C25D3/60 | 分类号: | C25D3/60 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 蔡胜有 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开了一种用于将锡合金沉积在衬底上的电解质组合物。该电解质组合物包括锡离子、一种或多种合金金属离子、一种酸、一种硫脲衍生物和一种添加剂,该添加剂选自链烷醇胺、聚乙烯亚胺、烷氧基化芳香醇及其混合物。还公开了将锡合金沉积在衬底上的方法、以及在半导体器件上形成互连凸起的方法。 | ||
搜索关键词: | 电镀 组合 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于将锡合金沉积在衬底上的电解质组合物,包括锡离子、一种或多种合金金属离子、一种酸、一种硫脲衍生物和一种添加剂,该添加剂选自链烷醇胺、聚乙烯亚胺、烷氧基化芳香醇及其组合。
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