[发明专利]电镀组合物及电镀方法有效

专利信息
申请号: 200410063902.6 申请日: 2004-04-07
公开(公告)号: CN1570219A 公开(公告)日: 2005-01-26
发明(设计)人: R·贝卡;N·D·布朗;K·王 申请(专利权)人: 罗姆和哈斯电子材料有限责任公司
主分类号: C25D3/60 分类号: C25D3/60
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 蔡胜有
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明公开了一种用于将锡合金沉积在衬底上的电解质组合物。该电解质组合物包括锡离子、一种或多种合金金属离子、一种酸、一种硫脲衍生物和一种添加剂,该添加剂选自链烷醇胺、聚乙烯亚胺、烷氧基化芳香醇及其混合物。还公开了将锡合金沉积在衬底上的方法、以及在半导体器件上形成互连凸起的方法。
搜索关键词: 电镀 组合 方法
【主权项】:
1.一种用于将锡合金沉积在衬底上的电解质组合物,包括锡离子、一种或多种合金金属离子、一种酸、一种硫脲衍生物和一种添加剂,该添加剂选自链烷醇胺、聚乙烯亚胺、烷氧基化芳香醇及其组合。
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