[发明专利]以阴极射线法制造镀层的装置无效
申请号: | 200410064200.X | 申请日: | 2004-08-24 |
公开(公告)号: | CN1600894A | 公开(公告)日: | 2005-03-30 |
发明(设计)人: | 尼古拉·伊万诺维奇·格列恰纽克;帕维尔·彼得罗维奇·库切连科 | 申请(专利权)人: | GBA股份公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;C23C14/50 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 过晓东 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | 本发明涉及一种以阴极射线法制造镀层的装置,包括装有坩埚和阴极射线枪的工艺室和具有装/卸待镀产品装样器的工艺前室,其特征为装载有待镀产品的装样器的下部固定锥形小齿轮安装在工艺室下盖的直立支柱上,一转轴在工艺室中旋转且同装样器的上部活动的锥形小齿轮相啮合。 | ||
搜索关键词: | 阴极射线 法制 镀层 装置 | ||
【主权项】:
1.一种以阴极射线法制造镀层的装置,包括装有坩埚和阴极射线枪的工艺室和具有装/卸待镀产品装样器的工艺前室,其特征为装载有待镀产品的装样器的下部固定锥形小齿轮安装在工艺室下盖的直立支柱上,一转轴在工艺室中旋转且同装样器的上部活动的锥形小齿轮相啮合。
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