[发明专利]微层耐热材料的制造方法无效
| 申请号： | 200410064401.X | 申请日： | 2004-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN1609263A | 公开（公告）日： | 2005-04-27 |
| 发明（设计）人： | 尼古拉·伊万诺维奇·格列恰纽克 | 申请（专利权）人： | GBA股份公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 一种制造微叠层热稳定材料的方法，包括在加热底板上连续沉积成层材料，其特征是为在高于最易熔化层材料熔化温度的(℃)0.3倍的温度下层界面处提供厚度在0.1～1微米的层的连续性，以厚度在0.001～0.005范围内而且一层材料到另一层材料浓度过渡平滑的交替层材料形成过渡边界；与此同时，到冷凝发生的表面的距离应该为材料的蒸发所用坩埚中心之间距离的0.55～0.8倍，而坩埚中心之间的距离应该等于冷凝所在底板直径的0.55～0.8倍；底板旋转速度(相对数)应该为蒸气流的总沉积速度的3～5倍；冷凝所在的底板的粗糙度不能超过0.63RA。 | ||
| 搜索关键词： | 耐热 材料 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造微叠层热稳定材料的方法，包括在真空中于底板上连续沉积成层材料，其特征是为了在高于最易熔化层材料熔化温度的(℃)0.3倍的温度下层界面处保证厚度为0.1～1微米的层的连续性，以厚度在0.001～0.005范围内而且从一层材料到另一层材料浓度过渡平滑的交替层材料形成过渡边界。
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