[发明专利]射频微电子机械单刀双掷膜开关及其制造方法

摘要

射频微电子机械单刀双掷膜开关及其制造方法属于微电子机械系统领域。每个单刀双掷膜开关中有一个由微带线构成的微波T形头，其包括一条用作高频信号输入端的信号线和两条与之相连构成对称T形结构的分支信号线，每条分支信号线上各连接有一个相同的单刀单掷膜开关。微波T形头中每条分支信号线的有效长度b与分支信号线到共面波导信号线中点的长度a的总和为输入高频信号波长的1/4。通过控制电路控制两个单刀单掷膜开关的开或关来实现单刀双掷功能。它解决了MEMS膜开关阈值电压高且控制电压干扰传输信号的问题，从而实现了低阈值电压、低隔离度、低插入损耗及良好线性度的目的。其在材料、可靠性、可重复性及低成本方面具有优越特点。

主权项

1.一种射频微电子机械单刀双掷膜开关，其特征是：在该单刀双掷膜开关的下侧设有一个由微带线构成的微波T形头(11)，该微波T形头(11)的下端是一条用作高频信号输入端的信号线(111)，两侧是两条与之相连构成对称T形结构的分支信号线(112、113)，每条分支信号线(112、113)上各有一个单刀单掷膜开关(10)与之对称相连。