[发明专利]微腔体四极质谱管有效

专利信息
申请号: 200410065141.8 申请日: 2004-10-27
公开(公告)号: CN1601691A 公开(公告)日: 2005-03-30
发明(设计)人: 张晓兵;毛福明 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: H01J49/26 分类号: H01J49/26;G01N30/72
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人: 叶连生
地址: 21009*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 微腔体四极质谱管涉及对微波器件、阴极射线管(CRT)、场发射器件、光源等电真空器件进行残余气体分析的四极质谱管,包括四极质量分析器,离子源,离子检测器,其特征是:采用陶瓷金属化四极质量分析器(1),其中,瓷管(1.2)作为真空外壳,瓷管(1.2)内腔设有四极质量分析器的四根极杆(1.3),在四极质量分析器(1)的两端面也设有金属化导电层(1.5)以避免电荷积累,金属电极引针(1.6)从金属化导电层(1.5)或四根极杆(1.3)内表面通过瓷管(1.2)中的金属化孔(1.7)引出到真空瓷管(1.2)腔体外,四极质量分析器(1)的瓷管(1.2)与离子源(2)和离子检测器(3)的真空腔体之间的连接为金属-陶瓷的真空密封连接。
搜索关键词: 微腔体四极质谱管
【主权项】:
1.一种微腔体四极质谱管,包括四极质量分析器,离子源,离子检测器,其特征是:采用陶瓷金属化四极质量分析器(1),其中,瓷管(1.2)作为真空外壳,瓷管(1.2)内腔设有四极质量分析器的四根极杆(1.3),在四极质量分析器(1)的两端面也设有金属化导电层(1.5)以避免电荷积累,金属电极引针(1.6)从金属化导电层(1.5)或四根极杆(1.3)内表面通过瓷管(1.2)中的金属化孔(1.7)引出到真空瓷管(1.2)腔体外,四极质量分析器(1)的瓷管(1.2)与离子源(2)和离子检测器(3)的真空腔体之间的连接为金属-陶瓷的真空密封连接;
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