[发明专利]扫描探针显微镜微型镜盒

摘要

本发明涉及扫描探针显微镜领域的一种扫描探针显微镜微型镜盒，其结构包括电致伸缩步进器、电致伸缩扫描管、盒体、盒盖、样品座、探针、探针架、通讯接口及抽气孔，还包括有样品切断顶杆及辅助探针，所述探针和辅助探针可选用扫描隧道显微镜探针和/或原子力显微镜探针和/或磁力显微镜探针。具有结构简单合理、生产成本低、体积小如香烟盒、便于携带等优点，对提高真空度、降低温度、提高信噪比和信号稳定性等都极为有利。可在盒内对样品进行真空切割和在真空中更换探针，并能一次性完成对样品进行多种不同类型探针的扫描，既适合扫描隧道显微镜、原子力显微镜、磁力显微镜单独使用，也适合扫描隧道显微镜和原子力显微镜和磁力显微镜组合使用。

主权项

1、一种扫描探针显微镜微型镜盒，包括电致伸缩步进器、电致伸缩扫描管、其特征在于还包括有盒体、盒盖、样品座、探针、探针架、通讯接口及抽气孔，所述样品座设在盒体内壁上，通讯接口和抽气孔设在盒体或盒盖上，电致伸缩步进器经弹簧片压装在盒体内，电致伸缩扫描管的后端固定在电致伸缩步进器上，探针架设在电致伸缩扫描管的前端，探针装在探针架上，探针信号线和电致伸缩步进器控制线及电致伸缩扫描管控制线与通讯接口连接。