[发明专利]用于智能结构的形状记忆合金增强型压电驱动器及制作工艺步骤无效
| 申请号： | 200410065659.1 | 申请日： | 2004-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN1632963A | 公开（公告）日： | 2005-06-29 |
| 发明（设计）人： | 沈星;冯伟;刘永刚 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/22 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 | 代理人： | 谢振龙 |
| 地址： | 210016*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种涉及用于智能结构的形状记忆合金增强型压电驱动器及制作工艺步骤。驱动器由形状记忆合金膜，压电陶瓷的还原层、压电层构成，制作工艺是将压电陶瓷基体材料在800℃～1000℃高温下进行单面还原，随后取出在空气中迅速冷却，待形成所需的拱形结构后清洗并抛光表面。将试样放入专用的工装夹具进行磁控溅射，在还原层表明沉积形状记忆合金膜，并经过真空晶化退火后取出。最后在两个端面涂覆导电胶作为电极。本发明具有特殊的拱形结构特征，并有响应快、驱动位移大以及承载能力强的优点，作为驱动元件具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 智能 结构 形状 记忆 合金 增强 压电 驱动器 制作 工艺 步骤 | ||
【主权项】：
1.一种用于智能结构的形状记忆合金增强型压电驱动器，其特征在于：它是由压电陶瓷的压电层(3)、还原层(2)以及在压电陶瓷的还原层(2)表面镀的形状记忆合金膜(1)组成的具有拱形结构的分层式驱动元件。
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