[发明专利]双环路二维剪切干涉检测装置无效
| 申请号： | 200410066386.2 | 申请日： | 2004-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN1587931A | 公开（公告）日： | 2005-03-02 |
| 发明（设计）人： | 朋汉林;林礼煌;徐宏玮;冷雨欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02;G01J1/00;G02B17/06 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种双环路二维剪切干涉检测装置，其构成是在待测激光束的前进方向依次是扩束镜、45°置放的第一分光镜、135°置放的第二分光镜及90°置放的第二全反射镜，在第二反射镜的反射光路上设置第一全反射镜，且该第一全反射镜的反射光正好以45°入射第二分光镜，其透过光方向有第一CCD，在第一分光镜的反射光路上且成45°地置放第三分光镜、成135°置放第三全反射镜，在该第三全反射镜的反射光路上设置第四全反射镜，在该第四全反射镜的反射光正好以45°入射第三分光镜，其透射光方向有第二CCD，所述的第一CCD和第二CCD的输出通过一个图象采集卡同时连接到同一台计算机，所述的第一CCD和第二CCD之间由一个外触发信号同步。 | ||
| 搜索关键词： | 环路 二维 剪切 干涉 检测 装置 | ||
【主权项】：
1、一种双环路二维剪切干涉检测装置，其特征在于它的构成是在待测激光束的前进方向依次是扩束镜(1)、45°置放的第一分光镜(2)、135°置放的第二分光镜(3)及90°置放的第二全反射镜(5)，在第二全反射镜(5)的反射光路上设置第一全反射镜(4)，且该第一全反射镜(4)的反射光正好以45°入射第二分光镜(3)，其透过光方向有第一CCD(6)，在第一分光镜(2)的反射光方向且成45°地置放第三分光镜(11)、成135°置放第三全反射镜(9)，在该第三全反射镜(9)的反射光路上设置第四全反射镜(10)，在该第四全反射镜(10)的反射光正好以45°入射第三分光镜(11)，其透过光方向有第二CCD(8)，所述的第一CCD(6)和第二CCD(8)的输出通过一个图象采集卡同时连接到同一台计算机(7)，所述的第一CCD(6)和第二CCD(8)之间用一个外触发信号同步。
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