[发明专利]基于纳米介电薄膜的微机械电容式微波开关无效
| 申请号： | 200410067330.9 | 申请日： | 2004-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN1601902A | 公开（公告）日： | 2005-03-30 |
| 发明（设计）人： | 杨春生;张东梅;丁桂甫 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H03K17/955 | 分类号： | H03K17/955 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于纳米介电薄膜的微机械电容式微波开关。用于自动控制技术领域。包括：下电极及其上纳米介电薄膜、动电极和非静电微驱动器，下电极是一层导电金属薄膜，纳米介电薄膜位于下电极之上，动电极位于纳米介电薄膜之上，与非静电微驱动器连接，它是自支撑的可动部件，非静电微驱动器驱动动电极靠近或离开上电极，从而使平行板电容器产生变化，实现开关的通断。本发明能够采用厚度很薄的纳米介电薄膜作为可调电容的绝缘介质，显著提高最大电容值，从而提高电容式开关的通断比，改善开关的工作特性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 薄膜 微机 电容 式微 开关 | ||
【主权项】：
1、一种基于纳米介电薄膜的微机械电容式微波开关，包括：下电极(1)及其上的纳米介电薄膜(2)、动电极(3)和非静电微驱动器(4)，其特征在于，下电极(1)是一层导电金属薄膜，纳米介电薄膜(2)位于下电极(1)之上，动电极(3)位于纳米介电薄膜(2)之上，与非静电微驱动器(4)连接，它是自支撑的可动部件，非静电微驱动器(4)驱动动电极(3)靠近或离开上电极，从而使平行板电容器产生变化，实现开关的通断。
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