[发明专利]飞秒激光相干技术传输周期微结构的方法无效
| 申请号： | 200410067900.4 | 申请日： | 2004-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN1603888A | 公开（公告）日： | 2005-04-06 |
| 发明（设计）人： | 赵全忠;赵崇军;姜雄伟;邱建荣;朱从善 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/46 | 分类号： | G02B27/46;B23K26/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种飞秒激光干涉技术传输周期微结构的方法。首先采用衍射光栅将一束飞秒激光分成两束或两束以上，通过一个共焦成像系统使之相干。其次，将一镀有金属薄膜的透明基体与一接受基体叠放在一起，最后，利用相干的飞秒激光脉冲辐照透明基体上的金属薄膜，激光瞬间加热作用产生的压力驱动辐照区的金属薄膜蒸发到与其接触的接受基体上，蒸发的金属迅速重新固化从而沉积到接受基体上，从而在接受基体上得到由相干飞秒激光脉冲传输的周期微结构。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 相干 技术 传输 周期 微结构 方法 | ||
【主权项】：
1、一种飞秒激光干涉技术传输周期微结构的方法，其特征在于该方法包括下列步骤：①首先采用衍射光栅将一束飞秒激光分成两束或两束以上，通过一个共焦成像系统使之相干；②将一镀有金属薄膜或半导体薄膜的透明基体与一接受基体叠放在一起；③利用相干的飞秒激光脉冲辐照在透明基体上的金属薄膜，激光瞬间加热产生的压力驱动辐照区的金属薄膜蒸发到与其接触的接受基体上，蒸发的金属迅速沉积到接受基体上并重新固化，从而在接受基体上形成周期微结构。
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