[发明专利]盘片强度检测装置无效
| 申请号： | 200410068316.0 | 申请日： | 2004-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN1740768A | 公开（公告）日： | 2006-03-01 |
| 发明（设计）人： | 张家玮;吴家麟 | 申请（专利权）人： | 精碟科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/30 | 分类号： | G01N3/30 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈肖梅;文琦 |
| 地址： | 台湾省台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种盘片强度检测装置，用于测试一盘片的接合强度，其包括一基座、一第一支架及一第二支架，基座具有一第一表面及一与该第一表面相对向的第二表面；第一支架立设于该基座的该第一表面上，具有一沿立设方向的一第一沟槽；第二支架立设于该基座的该第一表面上，具有一沿立设方向的一第二沟槽，该第二沟槽与该第一支架的该第一沟槽相对而设，该第一沟槽的底部与该第二沟槽的底部间的距离大于等于一待测盘片的直径。 | ||
| 搜索关键词： | 盘片 强度 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种盘片强度检测装置，用于测试一盘片的接合强度，其特征在于，包含：一基座，其具有一第一表面及一与该第一表面相对向的第二表面；一第一支架，其立设于该基座的该第一表面上，具有一沿立设方向的一第一沟槽；以及一第二支架，其立设于该基座的该第一表面上，具有一沿立设方向的一第二沟槽，该第二沟槽与该第一支架的该第一沟槽相对而设，该第一沟槽的底部与该第二沟槽的底部间的距离大于等于一待测盘片的直径。
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