[发明专利]薄膜厚度量测装置无效
| 申请号： | 200410068359.9 | 申请日： | 2004-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN1743791A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 谢国卿 | 申请（专利权）人： | 精碟科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈肖梅;文琦 |
| 地址： | 台湾省台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜厚度量测装置，用以测量一薄膜待测物的厚度，其包含一探针、一控制单元、一承载单元、一电源供应单元以及一侦测单元。其中，控制单元控制移动探针与薄膜待测物相接触，承载单元用以承载薄膜待测物，电源供应单元与探针以及承载单元电连接，且探针、薄膜待测物、承载单元以及电源供应单元形成一回路，而侦测单元量测回路的电流，亦即是通过薄膜待测物的一穿隧电流。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 厚度 装置 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜厚度量测装置，用以测量一薄膜待测物的厚度，其特征在于，包含：一探针；一控制单元，其控制移动该探针与该薄膜待测物相接触；一承载单元，其用以承载该薄膜待测物；一电源供应单元，其与该探针以及该承载单元电连接，其中该探针、该薄膜待测物、该承载单元以及该电源供应单元形成一回路；以及一侦测单元，其量测该回路的电流，其等于通过该薄膜待测物的一穿隧电流。
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