[发明专利]半导体装置的制法以及半导体芯片组装体的保护树脂涂敷装置无效
申请号: | 200410068368.8 | 申请日: | 2004-08-31 |
公开(公告)号: | CN1604292A | 公开(公告)日: | 2005-04-06 |
发明(设计)人: | 鲸井正义;杉本薰;九兰兼司 | 申请(专利权)人: | 三垦电气株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;B05D1/00;B05D7/00;H01L29/861 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 何腾云 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的是将适量的保护树脂很好地涂敷在半导体芯片组装体的侧面。用支承体(4)保持着若干个半导体芯片组装体(3),该半导体芯片组装体(3)备有具有头部(11)和导线部(12)的导线(5)、以及固接在头部(11)之间的半导体元件(10)。借助从浸渍于流动状态保护树脂(6)内的浸渍位置移动到涂敷位置的捞取部件(1),使附着在捞取部件(1)的上面(1a)上的流动状态保护树脂(6),附着到半导体芯片组装体(3)的半导体元件(10)的侧面(10a)上,然后,用树脂密封体(17)把附着了保护树脂(6)的半导体元件(10)的侧面(10a)密封住。多余量的保护树脂(6)从捞取部件(1)上落下,流动状态的适量保护树脂(6),借助自身的粘性,以适当的厚度附着在移动到涂敷位置的捞取部件(1)上。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 制法 以及 芯片 组装 保护 树脂 | ||
【主权项】:
1.半导体装置的制法,其特征在于,包含以下工序:用支承体保持着若干个半导体芯片组装体的工序;该半导体芯片组装体备有一对导线和半导体元件,上述一对导线分别具有头部和导线部,上述半导体元件以电气连接的状态同轴地固接在上述导线的头部之间;使捞取部件从浸渍在流动状态的保护树脂内的浸渍位置移动到涂敷位置的工序;使附着在移动到涂敷位置的上述捞取部件的上面的流动状态的上述保护树脂,附着到上述半导体芯片组装体的半导体元件的侧面上的工序;用树脂密封体将附着了保护树脂的半导体元件的侧面覆盖住的工序。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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