[发明专利]含氟铈系研磨材料及其制造方法有效
| 申请号： | 200410068551.8 | 申请日： | 2004-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN1597829A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | 望月直义;小林大作;下河原明;山崎秀彦;堂本幸辉 | 申请（专利权）人： | 三井金属鉱业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 胡烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的铈系研磨材料含有氟，全稀土类氧化物换算质量(TREO)与研磨材料质量的质量比在90wt％以上，Th和U的合计含量与该TREO的质量比((Th+U)/TREO)在0.05wt％以下，布莱恩法平均粒径(DB)为1.5μm～2.5μm。为了确保必要的研磨速度，对进行了以布莱恩法平均粒径(DB)为基准的粒径设定的铈系研磨材料进行研磨材料粒子的粒度分布的控制。因此，铈系研磨材料制造时如果采用布莱恩法平均粒径(DB)作为粒度设定基准，则可获得钍和铀等的含有率有所减少、且具备高研磨速度的铈系研磨材料。 | ||
| 搜索关键词： | 含氟铈系 研磨 材料 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.铈系研磨材料，它是含氟(F)铈系研磨材料，其特征在于，全稀土类氧化物换算质量(TREO)与研磨材料质量的质量比在90wt％以上，钍(Th)和铀(U)的合计含量与全稀土类氧化物换算量的质量比((Th+U)/TREO)在0.05wt％以下，布莱恩法平均粒径(DB)为1.5μm～2.5μm。
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