[发明专利]线圈零件的制造方法

摘要

本发明涉及用作共态扼流线圈或变压器等的主要零件的线圈零件的制造方法，提供一种阻抗特性不会变差且可靠性高的小型·较薄的线圈零件的制造方法。在磁性基板(3)上形成绝缘膜(9a)，在绝缘膜(9a)上形成开口部(15、17)。在绝缘膜(9a)上形成引线端子部(21)，并且在开口部(15、17)形成平坦化膜(29)。形成绝缘膜(9b)，开口出绝缘膜(9b)的开口部(15、17)。在绝缘膜(9b)上形成线圈导体(11)，并且在平坦化膜(29)上形成平坦化膜(31)。经由绝缘膜而在线圈导体(11)上进一步形成线圈导体之后除去平坦化膜(29、31)。

主权项

1.一种线圈零件的制造方法，其特征在于，在磁性基板上形成绝缘膜，在前述绝缘膜上形成规定的开口部，在前述开口部上形成平坦化膜，在前述绝缘膜上形成由导电性材料构成的线圈导体，在前述线圈导体上进一步形成绝缘膜，除去前述平坦化膜。