[发明专利]一种微型流量传感器无效
| 申请号： | 200410068975.4 | 申请日： | 2004-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN1587916A | 公开（公告）日： | 2005-03-02 |
| 发明（设计）人： | 周兆英;彭杰钢 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01F1/05 | 分类号： | G01F1/05;G01F1/56;G01F15/00;G01P5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种微型流量传感器，属测量仪器仪表技术领域。本传感器由感应元件，检测元件两部分组成，所说的感应元件为金属材料或半导体材料细杆，其截面为矩形。所说的检测元件安置在所说的感应元件的一端，检测元件测得的电信号由引出线引出。检测元件安置在感应元件上后覆盖绝缘涂料进行绝缘处理。本传感器有以下优点：1.本传感器模拟水生动物侧线系纤毛的结构来构造传感器，其结构简单，易于应用微机电系统(MEMS)技术进行集成制造。2.本传感器只与被流体有冷接触不会破坏被测流体的生化稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 流量传感器 | ||
【主权项】：
1.一种微型流量传感器，其特征是：由感应元件，检测元件两部分组成，所说的感应元件为金属材料细杆，尺寸为其截面为矩形，边长为10μm至1mm，长度为500μm至100mm之间，所说的检测元件安置在所说的感应元件的一端，检测元件测得的电信号由引出线引出，检测元件安置在感应元件上后覆盖绝缘涂料进行绝缘处理。
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