[发明专利]光致抗蚀剂聚合物及包含其的光致抗蚀剂组合物

摘要

本发明涉及光致抗蚀剂聚合物及光致抗蚀剂组合物。本发明公开的光致抗蚀剂聚合物及含有它们的光致抗蚀剂组合物具有优异的透射比、耐蚀刻性、耐热性和粘附性、低光线吸收度及对在193nm及157nm波长下的显影溶液具有高度亲和性，因而具有改良的LER(线边缘粗糙度)。

主权项

1.一种用于光致抗蚀剂单体的式1所示的化合物：[式1]其中R为CH₂、CHCH₂或C(CH₂)₂；R′及R″独立地为H或CH₃；R₁、R₂、R₃、R₄及R₅独立地为H、F、C₁-C₂₀烷基、C₁-C₂₀全氟烷基、包括醚基(-O-)的C₁-C₂₀烷基、包括醚基(-O-)的C₁-C₂₀全氟烷基、部分被F取代的C₁-C₂₀烷基、或包括醚基且部分被F取代的C₁-C₂₀烷基；及m为0至3范围内的整数。