[发明专利]静电卡盘装置用电极片、静电卡盘装置及吸附方法有效
| 申请号： | 200410070036.3 | 申请日： | 2004-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN1581460A | 公开（公告）日： | 2005-02-16 |
| 发明（设计）人： | 栃平顺;岛武志;长谷川雄一;川濑律 | 申请（专利权）人： | 株式会社巴川制纸所 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;B23Q3/15;H02N13/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郝庆芬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种绝缘性材料的保持力高，且对绝缘破坏的耐久性高的静电卡盘装置、用于该静电卡盘装置的电极片以及静电卡盘装置的使用方法。静电卡盘装置具有如下构成：将由由绝缘性材料构成的绝缘层1、通过该绝缘层在用于产生电位差的该绝缘层的两面设置的第1电极层2和第2电极层3、覆盖这2个电极层表面的绝缘性薄膜4、5构成的电极片10，使第2电极层位于底座一侧粘着在底座7上。将该静电卡盘装置的第1电极接地，向第2电极施加电压，从而将被吸附体吸附在绝缘性薄膜4上。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 装置 用电 吸附 方法 | ||
【主权项】：
1.一种静电卡盘装置用电极片，其特征在于，由绝缘性材料构成的绝缘层、通过该绝缘层在用于产生电位差的该绝缘层的两面设置的第1电极层和第2电极层、覆盖这些2个电极层表面的绝缘性薄膜构成。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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